風(fēng)淋室因為加工精度越來越精細(xì)!文章概要:干凈的空間溫濕度按照工藝原則來確定,但是在滿足工藝要求的前提,風(fēng)淋室給人一種舒服感。同時也跟著壞境的的要求提高,呈現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)格。具體工藝對溫度的要求當(dāng)前還要改進(jìn),但作為總的原則來看,因為加工精度越來越精細(xì),所以對溫度的要求越來越小。比如在大規(guī)模集成電路出產(chǎn)的工藝中,作為膜板資
干凈的空間溫濕度按照工藝原則來確定,但是在滿足工藝要求的前提,風(fēng)淋室給人一種舒服感。同時也跟著壞境的的要求提高,呈現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)格。具體工藝對溫度的要求當(dāng)前還要改進(jìn),但作為總的原則來看,因為加工精度越來越精細(xì),所以對溫度的要求越來越小。
比如在大規(guī)模集成電路出產(chǎn)的工藝中,作為膜板資料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100um的硅片,溫度上升1度,就惹起了0.24um線性膨脹,所以必需有0.1度的恒溫。、
風(fēng)淋室同時要求濕度值正常較低,由于人出汗當(dāng)前,對產(chǎn)物將有污染,因為加工精度越來越精細(xì),這種車間溫度不宜跨越25度,相對濕度跨越55%時,冷卻水管壁上會結(jié)露,若是產(chǎn)生在細(xì)密安裝或電路中,就會惹起各類變亂。相對濕度在50%時易生銹。
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